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类别:技术参数 发布于:2022-09-21 10:07:33 | 454 次阅读
数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准而设计的,专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的专
用仪器。仪器由主机、测试台、四探针探头、计算机等部分组成,测量数据既可由主机直接显示,亦可由计算机控制测试采集测试数据到计算机中加以分析,然后以表格,图形方式统计分析显示测试结果。
测量范围 电阻率:10-4~105 Ω.cm(可扩展);
方块电阻:10-3~106 Ω/□(可扩展);
电导率:10-5~104 s/cm;
电阻:10-4~105 Ω;
可测晶片直径 140mmX150mm(配S-2A型测试台);
200mmX200mm(配S-2B型测试台);
400mmX500mm(配S-2C型测试台);
恒流源 电流量程分为1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六档,各档电流连续可调
数字电压表 量程及表示形式:000.00~199.99mV;
分辨力:10μV;
输入阻抗:>1000MΩ;
精度:±0.1% ;
显示:四位半红色发光管数字显示;极性、超量程自动显示;
四探针探头基本指标 间距:1±0.01mm;
针间绝缘电阻:≥1000MΩ;
机械游移率:≤0.3%;
探针:碳化钨或高速钢Ф0.5mm;
探针压力:5~16 牛顿(总力);
四探针探头应用参数 (见探头附带的合格证)
模拟电阻测量相对误差
( 按JJG508-87进行) 0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字
整机测量大相对误差 (用硅标样片:0.01-180Ω.cm测试)≤±5%
整机测量标准不确定度 ≤5%
计算机通讯接口 并口
标准使用环境 温度:23±2℃;
相对湿度:≤65%;
无高频干扰;
无强光直射。
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