万用表/多用表电流表/钳形电流表电压表电源电能表校验装置无功功率表功率表电桥电能质量分析仪功率因数表电能(度)表介质损耗测试仪试验变压器频率表相位表同步指示器电阻表(阻抗表)电导表磁通表外附分流器 更多>>
流量检测仪表物位检测仪表记录/显示仪表机械量检测仪表温度检测仪表执行器显示控制仪表压力检测仪表过(流)程分析/控制仪表过程仪表阀门透视仪工业酸度计溶氧仪超声界面计校验仪仿真器其他工业自动化仪表 更多>>
检漏仪电火花检测(漏)仪超声检测仪其它探伤仪金属探测仪涂层检测仪其它硬度计测振仪频闪仪动平衡仪涂层测厚仪超声波测厚仪橡胶塑料测厚仪壁厚测厚仪塑料薄膜片测厚仪镀层测厚仪其它测厚仪维氏硬度计洛氏硬度计布氏硬度计 更多>>
类别:工作原理 发布于:2023-08-09 11:23:00 | 598 次阅读
椭偏仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器。
椭圆偏振测量技术(椭偏测量技术)通过测量光在介质表面反射前后偏振态变化,获得材料的光学常数和结构信息,具有测量精度高、非接触、无破坏且不需要真空等优点。自从1887年,德鲁德提出椭偏理论,建立了世界上套实验装置并成功地测量了18种金属的光学常数起,1945年,Rothen次提出了椭偏仪一词。之后,椭偏仪有了很大的发展,被广泛应用于薄膜测量这一领域。
椭偏光在样品表面上的反射、折射、多光束干涉过程,介质表面作用会引起前后偏振态(椭偏参数 ψ振幅比和 Δ相位差)变化,通过获得材料的光学常数和结构信息。
偏振光波通过介质时与介质发生相互作用,这种相互作用将改变光波的偏振态,测出这种偏振态的变化,进而进行分析拟合,得出我们想要的信息。
用薄膜的椭圆函数ρ表示薄膜反射线形成椭圆偏振光的特性,即
式中:tanψ表示反射光的两个偏振分量的振幅系数之比,ψ称偏振角;rp表示反射光在P平面的偏振分量;rs表示反射光在S平面的偏振分量。
rp和rs的数学表达式可以用Maxwell方程在不同材料边界上的电磁辐射推到得到。
其中?0是入射角,?1是折射角。入射角为入射光束和待研究表面法线的夹角。通常椭偏仪的入射角范围是45°到90°。这样在探测材料属性时可以提供的灵敏度。每层介质的折射率可以用下面的复函数表示:
通常n称为折射率,k称为消光系数。这两个系数用来描述入射光如何与材料相互作用。它们被称为光学常数。实际上,尽管这个值是随着波长、温度等参数变化而变化的。当待测样品周围介质是空气或真空的时候,N0的值通常取1.000。
通常椭偏仪测量作为波长和入射角函数的ρ的值(经常以ψ和?或相关的量表示)。一次测量完成以后,所得的数据用来分析得到光学常数,膜层厚度,以及其他感兴趣的参数值。如下图所示,分析的过程包含很多步骤。
可以用一个模型(model)来描述测量的样品,这个模型包含了每个材料的多个平面,包括基底。在测量的光谱范围内,用厚度和光学常数(n和k)来描述每一个层,对未知的参数先做一个初始假定。椭偏仪数据处理模型的建立是至关重要的一步 ,如果不能建立一个与参数匹配良好的模型,前面的测试就毫无意义,甚至如果建立一个错误的模型 ,其结果将与真实值南辕北辙。
上一篇:供水变频器的运行原理
下一篇:电源稳压器的工作原理的和特征
凡本网注明“出处:维库仪器仪表网”的所有作品,版权均属于维库仪器仪表网,转载请必须注明维库仪器仪表网,http://www.hi1718.com,违反者本网将追究相关法律责任。
本网转载并注明自其它出处的作品,目的在于传递更多信息,并不代表本网赞同其观点或证实其内容的真实性,不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。其他媒体、网站或个人从本网转载时,必须保留本网注明的作品出处,并自负版权等法律责任。
如涉及作品内容、版权等问题,请在作品发表之日起一周内与本网联系,否则视为放弃相关权利。