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多组分密度计的特点怎样?

类别:选购指南      出处:维库仪器仪表网      发布于:2019-05-21 17:05:18 | 223 次阅读

    多组分密度计的优点如可维护性和高精度在线测量是相同的,但它是一个具有用于半导体制造工艺的小型电池型发射器的模型。


    多组分密度计的特点


    三个组件中的双组分密度计侧可以实时实现


    标准配备模拟DC 4-20mA(2系统)和数字RS232C


    标准配备测量误差输出和报警输出


    标准配备自诊断功能和错误信息显示


    小巧轻便的蜂窝发射器可以直接安装在线路上


    采用PFA的液体接触材料对液体化学品没有影响,输出设计小


    使用


    CMP工艺中的CMP浆料和氧化剂浓度控制


    清洗过程中清洗液浓度的控制(HF + HNO3·HF + H2SiF6等)


    蚀刻过程中的蚀刻剂浓度控制(TMAH +抗蚀剂·TMAH + Si等)


    优点


    可以高精度地进行连续测量


    免维护,无需定期调整和校准


    安装时的各种调整是不必要的,并且安装容易


    通过实时输出轻松反馈处理

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