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激光干涉仪是以激光波长为已知长度,利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量。激光干涉仪的特点:1. 同时测量线性定位误差、直线度误差(双轴)、偏摆角、俯仰角和滚动角;2. 设计用于安装在机床主轴上的5D/6D....
分类:激光干涉仪时间:2017-05-12 阅读:895