真空泵使用要点

　　真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。
　　真空泵使用要点
　　1.真空泵用于抽洁净气体，不能抽有毒、易燃、易爆、腐蚀性气体或者蒸汽、化学品、溶剂及粉末等。如易燃气体、含国家特殊化学品规定成分的特殊或高浓度强酸强碱性气体、或半导体工艺中高浓度气体、有机溶剂、结晶气体等。这些气体容易使轴承失效。
　　2.进气温度必须低于50℃，否则在被抽真空室与泵进气口之间必须加冷阱，降温至低于50℃。
　　3.抽含有水蒸汽的气体时，要打开气镇阀抽气，被抽气体水蒸汽含量要求在23克/日以下。如果超过此极限，将会缩短气镇阀寿命。
　　4.真空泵不能在腐蚀性、易燃、易爆气体或蒸汽环境中工作，否则会有爆炸、火灾等危险。
　　5.不要由一两个人移动此泵。此由人员搬运、安装、配置、配线、操作、维护和检查，否则会有触电、受伤或者泵甚至被抽真空室损坏的危险。
　　6.不要继续使用已经损坏的泵，否则会有受伤、触电甚至被抽系统损坏等危险。
　　7.检查确定此泵安全接地。
　　8.此泵工作过程中或刚停机时不要接触泵电机或金属部件（因为工作时很热，可能达到70℃）。如确实需要接触，采取必要防护措施防止受伤。
　　9.必须安装电机保护开关。
　　10.不要刮碰进气口与排气口法兰，以免损坏法兰口，导致真空度上不去。
　　11.在进气口处装截止阀。真空泵停止后进气口处真空度降低，是因为排气口处的大气返至进气口处，不是真空泵的原因。如要保证真空室内的真空度，要在真空室与泵之间安装截止阀。
　　12.排气口处要接排气管，以防灰尘进入泵内。