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类别：技术参数 出处：维库仪器仪表网 发布于：2017-10-19 15:01:54 | 1127 次阅读
1、干式泵（非润滑）
提供完全洁净的真空环境。只需较少维护，且不会产生任何废料。然而，干式泵的初始成本较高。常用的干式泵包括隔膜泵、活塞泵、涡旋泵和涡轮分子泵。
2、水性泵
可以较低的初始成本实现低真空，只需少程度的维护。这些泵均具有耐腐蚀性。然而，它们并不适用于水蒸汽敏感系统。处理污水是这些泵的另一主要问题。常用的水性泵包括吸水泵。
3、油润滑泵
价格适中，可提供较高的泵送速度和广泛的极限真空度。然而，这些泵需要日常维护并更换机油。这些油可能会污染真空环境。这些泵还需配备进口过滤器和出口过滤器，以便保护泵体和周围环境。常用的油润滑泵包括旋片式真空泵和齿轮泵。
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