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表面粗糙度测量仪的技术指标介绍

类别:技术参数      出处:维库仪器仪表网      发布于:2019-12-06 11:30:50 | 1602 次阅读

    表面粗糙度测量仪可测量平面、圆柱面、深槽和曲面的表面粗糙度、波纹度、原始轮廓和直线度参数,还可测量工件表面微观轮廓的水平和垂直距离。


    表面粗糙度测量仪主要技术指标:


    1、测量原理:垂直方向为触针法,电感传感器;水平方向为直线光栅;


    2、测量范围:垂直400um(1200um),水平120mm;


    3、Ra示值误差:≤±5%;


    4、小分辨力:垂直0.6nm,水平1um;


    5、取样长度:0.08、0.25、0.8、2.5、8mm;


    6、评定长度:N倍取样长度,N=1,2,3,4,5;


    7、数字滤波器:高斯、2RC、PC、二乘、不滤波;


    8、粗糙度测量参数:Ra,Rc,Rp,Rv,Rz,Rt,Rq,Rsm,Rsk,Rku,Rdq,Rmr;


    波纹度测量参数:Wa,Wc,Wp,Wv,Wz,Wq,Wsm,Wt,Wsk,Wku,Wdq,Wmr;


    原始轮廓测量参数:Pa,Pc,Pp,Pv,Pz,Pq,Psm,Pt,Psk,Pku,Pdq,Pmr;


    直线度测量系统测量参数:│X2-X1│,│Z2-Z1│;


    9、轮廓图形的垂直放大倍率:1-500000可选,也可手动输入;


    10、轮廓图形的水平放大倍率:1-500000可选,也可手动输入;


    11、驱动箱滑行速度:0.2、0.5、0.8、1.0mm/s;返回速度1.5mm/s;


    驱动箱滑行长度:120mm;


    12、传感器返回形式:手动/自动;


    13、传感器测针:金刚石圆锥,锥角90°,针尖半径2μm;


    14、基准导轨的直线性:1um/100mm;


    15、立柱结构:快慢速机动升降系统,自动对准零位;


    16、立柱垂直测量高度:300mm;


    17、工作底台:460mm×720mm大理石平台。

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