双频激光干涉仪的优越性

    双频激光干涉仪是在单频激光干涉仪的基础上发展的一种外差式干涉仪。和单频激光干涉仪一样，双频激光干涉仪也是一种以波长作为标准对被测长度进行度量的仪器。双频激光干涉仪可以在恒温，恒湿，防震的计量室内检定量块，量杆，刻尺和坐标测量机等。它既可以对几十米的大量程进行精密测量，也可以对手表零件等微小运动进行精密测量，既可以对几何量如长度、角度.直线度、平行度、平面度、垂直度等进行测量，也可以用于特殊场合，诸如半导体光刻技术的微定位和计算机存储器上记录槽间距的测量等等。
    双频激光干涉仪的性主要有以下几点：
    1. 精度高 双频激光干涉仪以波长作为标准对被测长度进行度量的仪器。即使不做细分也可达到μm 量级，细分后更可达到n m量级。
    2. 应用范围广 双频激光干涉仪除了可用于长度的精密测量外，配上适当的附件还可测量角度、直线度、平面度、振动距离及速度等等。
    3. 环境适应力强 即使光强衰减 90%，仍然可以得到有效的干涉信号。由于这一特点，双频激光干涉仪既可在恒温、恒湿、防震的计量室内检定量块、量杆、刻尺、微分校准器和坐标测量机，也可以在普通的车间内为大型的机床的刻度进行标定。
    4. 实时动态测量，测速高。现代的双频激光干涉仪测速普遍达到1 m/s，有的甚至于十几m/s，适于高速动态测量。
    双频激光干涉仪的发明使激光干涉仪终摆脱了计量室的束缚，更为广泛的应用于工业生产和科学研究中。
    因此，对于双频激光干涉仪的研究有利于提高对该仪器的了解，以致于改进其性能，使其在计量方面有着更加广泛的应用，具有重大意义。
    双频激光干涉仪的特点及应用
    (1) 接受信号为交流信号，前置放大器为高倍数的交流放大器，不用直流放大，故没有零点漂移等问题。
    (2) 利用多卜勒效应，计数器计频率差的变化，不受激光强度和磁场变化的影响。在光强度衰减90％时仍可得到满意的信号，这对于远距离测量是十分重要的，同时在近距离测量时又能简化调整工作。
    (3) 测量精度不受空气湍流的影响，无需预热时间。
    用激光干涉仪作为机床的测量系统可以提高机床的精度和效率。起初仅用于高精度的磨床、镗床和坐标测量机上，以后又用于加工中心的定位系统中。但由于在一般机床上使用感应同步器和光栅一般能达到精度要求，而激光仪器的抗振性和抗环境的干扰性能差，且价格较贵，目前在机械加工现场使用较少。