压阻压力传感器的原理分析

    压阻压力传感器是指利用单晶硅材料的压阻效应和集成电路技术制成的传感器。单晶硅材料在受到力的作用后，电阻率发生变化，通过测量电路就可得到正比于力变化的电信号输出。它又称为扩散硅压阻压力传感器，它不同于粘贴式应变计需通过弹性敏感元件间接感受外力，而是直接通过硅膜片感受被测压力的。
    压阻压力传感器的原理是敏感芯体受压后产生电阻变化,再通过放大电路将电阻的变化转换为标准信号输出。
    目前压阻式芯体通用的有三类：
    1、应变原理:
    1）结构: 将压敏电阻以惠司通电桥形式与应变材料(通常为不锈钢)结合在一起。
    2）特点: 过载能力,抗冲击压力强灵敏度较低 ,适合于测量500kpa以上的高量程范围,可达500Mpa强度高,耐振动,不易损坏温度漂移小高量程(1Mpa以上)线性很好,精度高硬性膜片结构,适合测量与应变材料兼容的各类介质。
    2、陶瓷压阻原理:
    1）结构:将压敏电阻以惠司通电桥形式与陶瓷烧结在一起。
    2）特点:过载能力较应变原理较低,抗冲击压力较差灵敏度较高,适合于测量50kpa以上的高量程范围,量程40Mpa耐腐蚀,温度范围较宽。
    3、扩散硅硅原理：
    1）结构:在硅片上注入粒子形成惠司通电桥形式的压敏电阻。
    2）特点:灵敏度很高,精度高,适合于测量1kpa～40Mpa的范围,过压能力较强抗冲击压力较好温度漂移较大分为带隔离膜片和非隔离膜片2类,非隔离膜片只能测干净 的气体,隔离膜片为软性膜片,不适合测量粘稠的介质。