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四探针电阻率测试仪的测试是怎样的?

类别:解决方案      出处:维库仪器仪表网      发布于:2019-06-24 09:33:42 | 1501 次阅读

    四探针电阻率测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量装置;


    可以测量硅、锗单晶电阻率和硅外延层、扩散层和离子注入层的方块电阻以及测量导电玻璃和其他导电薄膜的方块电阻,主要用于评估半导体薄膜和薄片的导电性能。


    广泛用于半导体厂家、太阳能行业,还能满足科研单位的精密研究。

 

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    电阻率是反映半导体材料导电性能的重要参数之一。测量电阻率的方法很多,四探针法是一种广泛采用的标准方法。


    它的优点是设备简单、操作方便,度高,对样品的形状无严格要求。


    常用的是直线型四探针。四根探针的针尖在同一直线上,并且间距相等,都是S,一般采用0.5mm的间距,不同的探针间距需要对测量结果做相应的校正。


    四探针电阻率测试仪测试四探针笔方法:


    一般情况下,更换钢针之类,不需要拆开探头,只需要用拔出要更换的钢针,再重新安装新针,如果断针在孔内并且不拆开难以取出,必须按照以下步骤进行操作:


    1、先松开笔身尾部端侧面的固定小螺丝,轻轻脱下尾部航空插口,保证探针头部旋转时同步旋转,防止扭线断线,短接;


    2、轻轻拧开探针头子,然后小心将铜片拉出,记住七片绝缘片与铜片之间的位置,(四片铜片每片间夹一片绝缘片,两边的铜片外侧各两片),将断针从铜片卡口座里取下即可;


    3、特别注意一定不能将铜片取下时的位置错乱,铜片位置按照航空头四芯1234接线绿红黄黑的顺序一字排列,并且铜片之间按照宽窄顺序互相交叉排列,以免短接;


    4、安装时铜片及绝缘片按照拆下时的排列轻轻塞进探针头子,并先将探针头子拧紧,再将尾部航空头插上,并且旋紧小螺丝;


    5、将针装好,注意针头针尾方向,尖头为探针头部。


    仪器由主机、测试台、四探针探头、计算机等部分组成,测量数据既可由主机直接显示,亦可由计算机控制测试采集测试数据到计算机中加以分析,然后以表格,图形方式统计分析显示测试结果。


    仪器采用了电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。


    本仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能测试。

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